Làm sạch phòng trong một khu vực nhất định của các hạt bụi trong không khí, tác hại của khí, vi khuẩn có hại, chẳng hạn như xả ô nhiễm, và nhiệt độ trong nhà, độ sạch, áp suất bên trong khói, lốc xoáy tốc độ phân tán, tiếng ồn, độ rung và ánh sáng thiết bị, kiểm soát tĩnh trong khu vực đặc điểm kỹ thuật cụ thể, và cung cấp công thức đặc biệt theo không gian. Có nghĩa là, cho dù môi trường không khí bên ngoài thay đổi như thế nào, không khí vẫn có thể duy trì độ sạch, nhiệt độ và độ ẩm, áp suất và các đặc tính hoạt động khác của các tiêu chuẩn đặt ra ban đầu.
Chức năng chính của phòng vệ sinh là kiểm soát ngày mức độ làm sạch cũng như nhiệt độ và độ ẩm của không khí mà các sản phẩm của doanh nghiệp (chẳng hạn như chip silicon, v.v.) tiếp xúc, để các sản phẩm của doanh nghiệp có thể được sản xuất trong một khu vực được duy trì tốt. không gian môi trường, được gọi là phòng làm sạch. Theo quy ước, cấp độ lọc sạch chủ yếu được xác định theo số lượng các hạt trong mỗi mét khối không khí có đường kính vượt quá quy cách phân chia. Nói cách khác, sạch sẽ không phải là không có một ít bụi, mà là một lượng rất nhỏ đơn vị. Tất nhiên là tiêu chuẩn
Theo tiêu chuẩn bụi hạt so với bụi khô bây giờ là một vi nhỏ phẳng vi mô của nó, nhưng đối với cấu trúc quang điện tử, ngay cả một ít bụi cũng là một tác động xấu rất lớn, vì vậy trong cấu trúc quang điện tử sản phẩm của doanh nghiệp
Trước đây, sạch sẽ là một tiêu chuẩn cần thiết.
Lượng bụi khô nhỏ có kích thước hạt A là 0. 3 micron được kiểm soát dưới 3500 trên mét khối, đạt loại A của mã sạch quốc tế. Đặc điểm kỹ thuật sạch hiện tại được sử dụng trong sản xuất cấp độ chip và xử lý bụi là loại A khô cao, và các tiêu chuẩn cao như vậy chủ yếu được sử dụng
- Một số chip cao cấp hơn được sản xuất trên. Lượng bụi mịn từ 0. 5um trở xuống được kiểm soát chặt chẽ trong phạm vi 1000 trên mét khối, thường được gọi là loại nghìn trong ngành.
Trạng thái phòng sạch được phân loại thành ba loại sau
Điều kiện không khí: tỷ lệ sạch (thiết bị) đã được xây dựng và sẵn sàng hoạt động. Nó có tất cả các đảm bảo và chức năng liên quan đến tỷ lệ sạch sẽ. Tuy nhiên, không có người vận hành và không có thiết bị sản xuất trong tỷ lệ sạch.
Tĩnh: các loại phòng sạch đầy đủ chức năng, thiết bị được lắp đặt đúng quy cách, phòng sạch (thiết bị) có thể sử dụng hoặc đang sử dụng theo Cài đặt nhưng không có hoạt động trong phòng sạch.
Động: Phòng sạch đang sử dụng bình thường, chức năng phòng sạch đã hoàn thiện, có trang thiết bị và nhân sự nếu cần thiết có thể hoạt động bình thường.